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电镜类仪器

扫描电镜聚焦粒子束系统SEMFIB

时间:2025-05-29 来源:微析研究院 点击:0

扫描电镜聚焦粒子束系统(SEMFIB)是一种先进的微观分析与加工设备,它结合了扫描电镜(SEM)的高分辨率成像和聚焦离子束(FIB)的微纳加工能力。可对材料进行精细观察、剖析及微纳尺度的加工操作。

扫描电镜聚焦粒子束系统SEMFIB应用场景

在材料科学领域,可用于分析各类新型材料的微观结构,像研究金属合金、陶瓷、高分子材料等内部的晶体结构、相分布等,助力材料性能优化。

在半导体产业中,能对芯片进行高精度的缺陷检测与修复。比如定位并修复芯片电路中的短路、断路等故障,保障芯片质量。

在生物医学方面,可用于观察生物样本的超微结构,如细胞、组织的精细形态,还能对生物样本进行定点切割、取样等操作,辅助医学研究。

在考古学领域,能够对文物的微观结构进行无损探测,清晰呈现文物的材质、制作工艺等细节,为考古研究提供有力依据。

扫描电镜聚焦粒子束系统SEMFIB性能特点

其具有超高的分辨率,能够清晰分辨出纳米级甚至更小尺度的物体细节,为微观研究提供精准图像。

具备精准的微纳加工能力,可以按照设定要求对材料进行高精度的切割、沉积、蚀刻等操作,加工精度可达纳米级别。

可实现原位观察与加工的同步进行,在对材料进行加工处理的过程中,能实时观察材料的变化情况,便于及时调整加工策略。

系统具有较好的稳定性,能长时间稳定运行,保证在复杂的分析与加工任务中持续、可靠地工作。

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