圆形石英玻璃光掩模基板规范

基础信息

标准号：GB/T 16523-1996发布日期：1996-09-09实施日期：1997-05-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI P4:1992。采标中文名称:。

起草单位

长沙韶光微电子总公司

相近标准(计划)

GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法20220107-T-339 刚性有机封装基板规范20231187-T-469 平板显示器基板玻璃规范SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范20251015-T-339 刚性有机封装基板用绝缘胶膜规范GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则