硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

基础信息

标准号：GB/T 16527-1996发布日期：1996-09-09实施日期：1997-05-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。采标中文名称:。

起草单位

长沙韶光微电子总公司

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