硬面光掩模基板

基础信息

标准号：GB/T 15871-1995发布日期：1995-12-22实施日期：1996-08-01标准类别：产品中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。采标中文名称:。

起草单位

长沙韶光微电子总公司

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