半导体设施接口技术文件编写导则

基础信息

标准号：GB/T 15873-1995发布日期：1995-12-22实施日期：1996-08-01标准类别：管理中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.220.10 归口单位：工业和信息化部（电子）执行单位：工业和信息化部（电子）主管部门：工业和信息化部（电子）

采标情况

本标准非等效采用其他国际标准：SEMI E6:1992。采标中文名称:。

起草单位

中国华晶电子集团公司

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