基础信息
标准号:GB/T 14862-1993发布日期:1993-12-30实施日期:1994-10-01标准类别:方法中国标准分类号:L55国际标准分类号:31.200 归口单位:全国集成电路标准化技术委员会执行单位:全国集成电路标准化技术委员会主管部门:工业和信息化部(电子)
采标情况
本标准非等效采用其他国际标准:SEMI G30:1986、SEMI G43:1987。采标中文名称:。
起草单位
上海无线电七厂
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