基础信息
标准号:GB/T 11297.7-1989发布日期:1989-03-31实施日期:1990-01-01标准类别:方法中国标准分类号:L32归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
航空航天部8358研究所
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