锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

基础信息

标准号：GB/T 11297.6-1989发布日期：1989-03-31实施日期：1990-01-01标准类别：方法中国标准分类号：L32归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

电子十一所

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